这套系统比asml的euv机台大了足足三倍，这是由于采用了功率更高的紫外混合激光发生系统，更复杂的透镜系统，和更牢固的刻蚀引擎。
罗佳的演讲永远充满干货，节奏飞快，刚才他还在讲北美陶氏化学，断供poe弹性体的事情，广义上的poe，是指乙烯辛烯共聚物、乙烯丁烯共聚物，乙烯己烯共聚物等等。
它们都是聚烯烃类弹性体，用来做pa尼龙增韧剂，pp抗冲改性，eva挤出软管，pe膜之类的产品。
目前全世界仅有六家厂商生产，并且全都是外企，我国对poe年需求量在二十万吨，全部必须靠进口。
陶氏化学作为全球最大的poe供应商，突然断供，对我国影响巨大，所以星辰化学现在临危受命，准备搞技术攻关。
另外罗佳还说，从这件事上要学会居安思危，塞拉尼斯集团的醋酸纤维丝，超分子量聚乙烯，聚苯硫醚pps，英威达和奥盛德集团的pa66，伊斯曼集团的pctg和petg，这些化工产品也要尽快完成进口替代。
反正罗佳是从化学，直接就跳到了光刻机，把正聚精会神听讲的观众们吓了一大跳，以为罗佳还要再扯一会儿呢，竟然直接进入正题了。
我知道，很多西方同行在怀疑，我们这套究竟是不是真正的第四代光刻系统。罗佳大声宣布道：现在，怀疑的人可以睁大眼睛看清楚了，这是如假包换的第四代，超级紫外混合激光刻蚀曝光系统！
如这张简要设计图所示，我们在这套系统中，创造出了波长为零点五纳米的超紫外混合激光，其精度，是目前全球最先进，asml集团euv机台的整整二十七倍！
而为了获得比极紫外更强的光源，星辰光学团队研发了csmt全反射变焦镜头组件，变焦十六倍，数值孔径零点零三三，最大曝光范围七十六乘以九十三毫米！
这套透镜，是德国卡尔蔡司透镜性能的，整整三十倍！
第378章 企业界在行动 国家队也有大动作
总的来说，第四代光刻机技术指标，是第三代euv的二十倍左右。
这就好比马车和火车的迭代，差距是全方位的，更短的波长只是一种表象，最惊人的创举在于，星辰科技突破了曝光功率的物理限制。
普通百姓们或许并不清楚，从第一代到第三代光刻机，其实都是大力出奇迹的结果。
就拿第三代euv来说，极紫外光是超大功率的电老虎，250w的机台每工作一天，就要耗费高达三万度的电力，而且还需要一套体积惊人的散热系统辅助。
技术不够，功率来凑，一直是光刻机发展的逻辑，在星辰科技之前，没有任何企业真正解决过这个问题，工程师们的思路通常简单粗暴，他们想要更精确地曝光效果，就不断的提高功率，制造更大的光源发生器，打磨更精良的透镜。
星辰科技之所以能够彻底解决问题，是因为他们没有延续大功率光源过爆的传统，而是直接采用了激光。
从本质上来来说，星辰科技的第四代光刻系统，就是一套激光散射平台，这玩意儿不仅能刻蚀硅晶圆，工艺改良之后，甚至还能发展出激光武器。
当然，从激光刻蚀平台到激光武器之间，还有很长的科技树要攀爬，并不能够一蹴而就。
是激光散射！华夏人用了激光技术！
零点五纳米的激光刻蚀？那岂不是意味着，星辰科技有能力把芯片的指标，推进到零点一纳米，甚至更低？
完全无法想象，设计端跟上的话，需要多少核心，他们就能制造多少个核心，将128核心处理器塞进手机，也不再是痴人说梦了。
这太牛了吧？
星辰科技牛逼！
尽管大多数吃瓜群众听不懂罗佳报出的技术参数，但专业人士却很快明白了这套光刻系统的厉害之处。
延续了几十年的光刻技术，从此脱胎换骨了，紫外光刻蚀即将退出历史舞台，未来必将属于星辰科技的激光刻蚀技术。
芯片这种主导了人类科技的顶尖产品，将在工艺方面达到崭新的高度，一纳米，零点一纳米，甚至零点零一纳米的芯片产品，将取代现有的七纳米技术，功耗，处理能力，发热，都会得到跨越式提高。
未来已来，华夏的科技同仁们为之欢呼振奋，而西方世界却陷入了深深的恐惧，他们万万没有想到，今天星辰科技拿出来的，竟然是真正的第四代技术，而且技术等级之高，几乎可以用奇迹来形容。
完全听不懂呢，但这么多人发弹幕撒花，是很厉害的意思吗？
随着罗佳的介绍继续，吃瓜群众们不明觉厉，纷纷打听。
何止是厉害，星辰科技牛逼大了！第四代光刻技术不仅硅晶圆能用，日后发展更先进的石墨烯晶圆，高分子碳晶圆，也全都能用！是面向未来几十年的技术！
科技爱好者们纷纷吹爆，任何一项伟大技术的发明，带给人类的绝不仅仅是一点改变，而会是一场轩然大波。
就如同卡门涡街技术的问世，彻底改变了全球能源的格局，俄国和中东狗大户受到油价暴跌的影响，损失极其惨重，民间都快穷疯了。
自东三省向内陆蔓延，越来越多漂亮的俄罗斯小姐姐，来到华夏打工，据说，物美价廉，而狗大户则就没那么幸运了，由于拿不到华夏和北美的签证，他们只好继续涌入欧洲。
一场文化和宗教的巨大变革，正在欧洲大地酝酿，难民数量的飞快增长，让欧洲当局叫苦不迭，他们现在后悔也有点太晚，鹊巢鸠占，腾笼换鸟的史诗级大戏，已经势不可挡，将来的欧洲，一切都充满了未知。
罗佳顿了一顿，脸上露出欣慰的笑容。
这是一场孤独的演讲，现场没有主持人，也听不到观众们疯狂的欢呼，但罗佳依旧全情投入，发挥自己天马行空的想象力，从科学讲到文学，又从贸易争端讲到了滚滚而来的大历史。
高精密激光刻蚀，精确到了什么程度呢？罗佳笑着说道：精确到连空气都容不下的程度，曝光过程中，甚至不能有任何气体介入，按照原本的做法，要用超纯去离子水，填充芯片之间的空隙，这就是大名鼎鼎的浸没式光刻技术，你们现在用的海思麒麟cpu，英特尔cpu，高通骁龙cpu，都是用浸没式光刻技术制作的。
浸没式光刻技术很强大，但也非常可惜，这项技术的专利，全部掌握在荷兰asml和霓虹尼康的手里，后发科技企业难做啊，很显然，尼康和asml不会把专利卖给我们的，所以我们不得不研发自己的曝光填充技术。
你们知道更扯淡的是什么吗？想达到高精密隔绝填充技术，首先需要超精密步进扫描技术，以监控不断流动的水分子！
所以，我们又派了一支团队去搞扫描器…
罗佳侃侃而谈，他的演讲里有许多干货，也有许多有趣的小故事，这些小故事并不都是欢乐，也有许多心酸在其中。
研发之难是普通人永远无法想象的，为了绕开西方专利，光刻机团队做了数不清的工作，假设星辰科技是一家韩国企业，只怕早两年就能拿出光刻产品，因为西方并不对韩国执行技术封锁。
而我国，很多技术是花钱也买不到的，很多专利是西方永远不会授权给我们的。
行了，我今天站在这里，并不是来给大家诉苦的，星辰科技是硬汉团，再苦我们都可以扛，只是某些网友痛骂科研界无能的言论，让我实在有点接受不能，必须说两句。
我们不一样，霓虹和韩国搞科研，只需要付出百分之八十的努力，而我们，要付出百分之一千！这就是最真实的现状，科研界充满来自西方的敌意和恶意，而且今后很多年里，也不会有什么改变。。
好了，今天的演讲到此结束，我说那么多废话，其实就讲了两件事，第一，这个世界上没有跪舔民族成功的案例，所以保持自信很重要，第二，我们制造了全球第一台四代光刻机，给华夏的半导体之路，打下了一个基础。