昆仑科技没有造光刻机的基础,但是他们有光学研究院,有世界上最好的镜片打磨和校准系统。
于是,高原将光刻机内部重要的物镜系统造了出来,这套物镜可以安装在国产光刻机台,至于能否起到逆转乾坤的效果,接近甚至超越荷兰asml,则要经过一系列复杂的实验与磨合。
一间会议室里,众人听取来自吴东明的简报,吴东明将这次参观昆仑集团的过程以及收获,汇报给众位大佬,随即回到自己的座位,作为工信部实权人物,吴东明的座位被安排在最后一排,足以说明这次会议的格局之高。
高原什么意见?有个声音问道。
他没什么意见,只说要是将中芯卖给他的话,他能少奋斗十年,否则就必须要从零开始了,昆仑集团虽然庞大,此前却没有半导体部门。吴东明道。
大佬们纷纷颔首,事情很明显,高原有决心,但缺乏经验积累和人手,而目前华夏范围内,只有国家队才可能为他输送足够多的弹药。
卖给他?合作不行吗?又有大佬说道:让中芯和昆仑成立合资企业,向他们和航天集团那样,一起研究,成果共享。
吴东明摇了摇头说道:不可能的,中芯里面不仅有国资,还有一部分外资,高原说,他和航天集团合作没有问题,因为航天集团的身份清清楚楚,而中芯嘛,明摆着里面有外资的企业,高原是不会合作的。
哎~
大佬们纷纷扶额,某大佬感慨道:没想到,高原一个私企,却比我们还激进。
众人感慨,高原还真是个顽固的家伙,眼睛里容不下一丁点沙子,其实外资在中芯占比本来就不高,组建合资公司再进行一下稀释,应该掀不起多大风浪。
但高原依然不认可这样的方案,哪怕外资只占百分之一,他也是顽固不肯答应。
还有呢?大佬再问。
高原说,如果中芯的事情一时半会儿搞不定,先批准他与长春光机合作也可以,毕竟他们的透镜系统,只是光刻机的零部件之一,还要与相关企业合作,才能整合出完整的光刻机。吴东明道。
这个要求非常合理。
大佬们纷纷点头,世人常常以为,上海微电子是国家队负责搞光刻机项目的,其实不对,13.5nm的极紫外光刻机,一直由长春光机所负责攻坚,代号02专项。
所谓光刻机02专项,总体架构是这样的。
清华大学和帝都华卓精科,他们两家负责双工件台系统,目前项目进度比较快,已经基本解决了所有问题,因此,华夏成为是世界上第二个掌握该项技术的存在。
而第一个拿下双工件台的是荷兰asml,他们的twinscan技术,已经投产数年时间了,被证明性能可靠。
浙江大学流体动力与机电系统实验室,与浙江启尔机电,这两家负责沉浸式光刻机的浸液系统,目前已经基本完成,是继荷兰asml和日本尼康之后,全球第三家掌握该项技术的存在。
准分子激光光源,是中科院光电研究院负责的,传闻目前只能做到40w功率,而荷兰asml采用的光源,功率在2019年就达到了250w,这方面差距还是比较大的。
至于荷兰asml的光源供应商,是北美cymer和日本gigaphoton。
最后也是最重要的光学系统,由长春光机所负责物镜,上海光机所负责照明,项目进度未知。
至于荷兰asml的物镜和照明,来自大名鼎鼎的德国蔡司。
凡是了解摄影的人,应该都知道蔡司的镜片水准有多高,当然了,普通消费者多数并不知道,其实卡尔蔡司集团,还有半导体部门。
由此可见,所谓全球最强的荷兰asml光刻机,背后其实是标准的万国造,将全世界所有顶级技术堆在一起,才组成了asml极紫外光刻机。
因此,华夏光刻技术要挑战的不是asml,而是全世界。